能譜儀是用來對材料微區成分元素種類與含量分析，配合掃描電子顯微鏡與透射電子顯微鏡的使用。能譜儀利用發射出來的特征X射線能量不同而進行的元素分析，稱為能量色散法。X射線能譜儀的主要構成單元是Si(Li)半導體檢測器，即鋰飄移硅半導體檢測器和多道脈沖分析器。
能譜儀是用來對材料微區成分元素種類與含量分析，配合掃描電子顯微鏡與透射電子顯微鏡的使用。
能譜儀利用發射出來的特征X射線能量不同而進行的元素分析，稱為能量色散法。X射線能譜儀的主要構成單元是Si(Li)半導體檢測器，即鋰飄移硅半導體檢測器和多道脈沖分析器。
目前還不能用于分析超輕元素(O、N、C等)。由于能譜儀中Si(Li)檢測器的Be窗口吸收超輕元素的X射線，故只能分析Na以后的元素。能譜儀結構簡單，數據穩定性和重現性較好。能譜儀主要的使用范圍為：
1、高分子、陶瓷、混凝土、生物、礦物、纖維等無機或有機固體材料分析;2、金屬材料的相分析、成分分析和夾雜物形態成分的鑒定;3、可對固體材料的表面涂層、鍍層進行分析，如：金屬化膜表面鍍層的檢測;4、金銀飾品、寶石首飾的鑒別，考古和文物鑒定，以及刑偵鑒定等領域;5、進行材料表面微區成分的定性和定量分析，在材料表面做元素的面、線、點分布分析。
能譜儀作為電子顯微鏡的重要配件，從第一代的液氮制冷能譜儀誕生至今已有50多年的歷史。從牛津能譜儀的發展情況來看，其技術發展趨勢主要在兩個方面，第一，電制冷已是能譜儀的一個發展方向，2010年牛津銷售的能譜儀中90%都采用的是電制冷技術;第二，晶體面積越大，接受的X射線信號越多，可以加快分析速度，得到更準確的結果。
在儀器使用過程中，用戶最為關注的是方法的準確度與穩定性。目前常用的方法是將國家標準物質的檢測強度與濃度擬合，擬合相關系數越接近1，說明方法越準確。穩定性則通過國家標準樣品連續測定結果的相對偏差進行評定，偏差越小說明方法越穩定。
在陜西省某環境監測站E4型能譜儀的應用中，針對20種元素，E4工作曲線擬合相關系數分布在在0.9321至0.9999之間，平均相關系數為0.9899。使用能譜儀對于16種常見土壤及水系沉積物國家標準物質中20種元素進行連續多次測量，連續檢測值標準偏差較小。以上實驗證明了E4型能譜儀器具有較高的精度與良好的穩定性。
X射線能譜儀的主要構成單元是Si(Li)半導體檢測器，即鋰飄移硅半導體檢測器和多道脈沖分析器。目前還不能用于分析超輕元素(O、N、C等)。由于能譜儀中Si(Li)檢測器的Be窗口吸收超輕元素的X射線，故只能分析Na以后的元素。能譜儀結構簡單，數據穩定性和重現性較好。能譜儀是用來對材料微區成分元素種類與含量分析，配合掃描電子顯微鏡與透射電子顯微鏡。
能譜儀是電鏡的重要附件，現在電鏡市場每年都在以10%以上的速度在增長。牛津作為重要的能譜儀供應商，其每年的增長速度超過了整個市場的增長速度，每年銷售額的增長都維持在20%以上。在電鏡市場，中國每年能銷售300-400臺掃描電鏡，透射電鏡也達到100臺左右。
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2022-2027年能譜儀行業市場深度預測及發展策略研究報告
能譜儀是用來對材料微區成分元素種類與含量分析，配合掃描電子顯微鏡與透射電子顯微鏡的使用。能譜儀利用發射出來的特征X射線能量不同而進行的元素分析，稱為能量色散法。X射線能譜儀的主要構成...
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