2023電子特氣行業發展趨勢分析 需求占比有望提升至2025年的25%

• 陳澤芳 2023年1月23日 來源：互聯網 中研網 1224 79
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受經濟衰退、地緣政治等因素影響，消費電子的需求疲軟，使得未來三年全 球電子特氣行業增速將趨于平緩。根據華經產業研究院數據，2022 年全球電子特 氣市場規模預計為 49 億美元，2023 和 2024 年分別達到 52 和 54 億美元。從增 速來看，預計 2022-2024C

“十四五”期間，中國工業氣體、集成電路產能分布密集的東部地區基于自身區域產業發展提出相應的電子特氣行業發展規劃，其中如廣東、遼寧等地基于優勢城市、區域產業群加大技術投入，拓展包括電子特氣在內的工業氣體版圖;江蘇、浙江等集成電路產能密集省份則基于區域相關產業發展方向，有針對性地發展相應電子特氣產業，提升集成電路產業化程度。

電子氣體的應用領域主要在半導體集成電路生產制造、非晶硅太陽能電池、液晶顯示器件、光導纖維生產四大領域，其中主要應用于半導體集成電路的生產制造。在半導體工業中應用的有110 余種單元特種氣體，其中常用的有20～30種。電子特種氣體的發展直接帶動高新技術產業發展。

電子特氣行業產業鏈現狀分析 需求占比有望提升至2025年的25%

氣體專業社會化外包占比較海外仍有差距，有望從2021年的65%提升至2025年的70%-75%：工業氣體的制氣模式有自建設 備制氣和外包供氣，我國外包供氣市場份額從2017年的55%增至2021年的65%，但與發達國家80%的外包率仍有差距，預計 2025年我國外包供氣占比有望提升至70%-75%，專業的外包氣體供應商將持續受益。新興產業帶動特種氣體占比有望從2021年的19%提升至2025年的25%：2021年特種氣體需求占比僅19%，電子特氣占據特 種氣體市場的主要份額，隨著下游新興產業加速發展，預計以電子特氣為主的特種氣體占比有望提升至2025年的25%。

半導體、顯示面板、光伏等為電子特氣主要下游，我國半導體行業需求占比有望從2021年的43%提升至2025年的55% ：電 子特氣為半導體、顯示面板、光伏、LED等下游領域制造環節的重要耗材，半導體在我國電子特氣需求中占比低于全球水平， 隨著半導體產業加速向我國轉移，預計未來三年我國半導體行業占電子特氣需求比例有望從2021年的43%提升至2025年的 55% 。電子特氣在晶圓制造材料中占比13.1%僅次于硅片，是第二大耗材：電子特氣主要應用于晶圓制造的光刻、刻蝕、摻雜、外 延沉積等核心工藝環節，其純度和潔凈度直接影響到半導體器件的質量、集成度、特定技術指標和成品率，2021年在晶圓制 造材料需求中占比約13.1%，僅次于硅片，是晶圓制造材料中的第二大耗材。

2023電子特氣行業發展趨勢分析

受經濟衰退、地緣政治等因素影響，消費電子的需求疲軟，使得未來三年全 球電子特氣行業增速將趨于平緩。根據華經產業研究院數據，2022 年全球電子特 氣市場規模預計為 49 億美元，2023 和 2024 年分別達到 52 和 54 億美元。從增速來看，預計 2022-2024 年全球電子特氣市場規模的 CAGR 為 4.98%。

伴隨晶圓廠持續擴產，未來三年國內電子特氣需求將呈放量加速態勢。根據 華經產業研究院數據，2021 年中國電子特種氣體市場規模約 167 億元，預計 2022 年將達到 189 億元，并于 2024 年增至 230 億元，2022-2024 年的 CAGR 將達 到 10.31%，未來三年中國電子特氣的市場規模增速預計將顯著高于全球。晶圓廠逆周期擴產帶動半導體市場景氣，推動電子特氣需求持續增長。根據 億渡數據，2021 年，集成電路是電子特氣下游應用中最重要的增長驅動力，其應 用占比達到 43%。在半導體材料的市場占比中，電子特氣占 14%，成為僅次于硅 片的第二大半導體材料市場。隨著國內晶圓廠的陸續擴產，作為半導體的主要材 料，電子特氣發展前景廣闊。

據中研普華研究院報告《2021-2026年電子特氣行業市場深度分析及發展策略研究報告》分析：

電子特種氣體(簡稱電子特氣)，是指用于半導體、平板顯示及其它電子產品生產的特種氣體。在整個半導體行業的生產過程中，從芯片生長到最后器件的封裝，幾乎每一個環節都離不開電子特氣，而且所用氣體的品種多、質量要求高，所以電子氣體又有半導體材料的“糧食”之稱。

電子氣體的應用領域通常包括，集成電路、顯示面板、光伏等，不同種類的 氣體在各個應用領域發揮不同的作用。在集成電路制造中，電子氣體根據不同工 藝，可分為摻雜用氣體、離子注入氣、清洗用氣、刻蝕用氣體和光刻氣。在顯示 面板生產中，電子氣體的主要工藝分為清洗、刻蝕和薄膜沉積。其中，在薄膜沉 積工序中，CVD 在玻璃基板上沉積二氧化硅薄膜所使用的特種氣體，主要為三氟化氮、硅烷、磷烷、超純氨氣等。在太陽能電池生產中，電子氣體的主要工藝為 擴散、薄膜沉積和刻蝕等。三氯氧磷和氧氣用于擴散工藝;硅烷、氨氣、二乙基 鋅、乙硼烷用于薄膜沉積;四氟化碳用于刻蝕。

2023年該行業前景趨勢怎么樣?想要知道更多行業詳細分析，請點擊查看中研普華研究院出版的《2021-2026年電子特氣行業市場深度分析及發展策略研究報告》。

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