光刻機巨頭ASML尋求氖氣供應 工業氣體龍頭上市公司市場份額

• 2022年3月1日 HuangJiang來源：新浪 816 50
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全球光刻機巨頭荷蘭的ASML公司正在緊急尋找烏克蘭以外的其他氖氣供應來源。ASML一位發言人表示，烏克蘭是全球最大的氖氣生產國，氖氣是光刻氣中主要成分，俄烏沖突導致烏克蘭氖氣出口遭遇困境。

工業氣體被喻為工業的“血液”。工業氣體在國家標準《常用危險化學品的分類及標志》(GB13690-1992)中，通常被劃為第2類壓縮氣體和液化氣體。這類化學品系指壓縮、液化或加壓溶解的氣體。氣體經加壓或降低溫度，可以使氣體分子間的距離大大縮小而被壓入鋼瓶中，這種氣體稱為壓縮氣體(亦稱為永久氣體， 如氧氣、氮氣、氬氣、氫氣等)。

光刻機巨頭ASML尋求氖氣供應

全球光刻機巨頭荷蘭的ASML公司正在緊急尋找烏克蘭以外的其他氖氣供應來源。ASML一位發言人表示，烏克蘭是全球最大的氖氣生產國，氖氣是光刻氣中主要成分，俄烏沖突導致烏克蘭氖氣出口遭遇困境，工業氣體市場供需狀況如何？。

資料顯示，氦氖氬氪氙氡統稱為惰性氣體，在常溫常壓下，它們都是無色無味的單原子氣體，很難進行化學反應，主要應用于半導體微影制程。氖氣是光刻氣中主要成分。

在半導體制程當中，氖氣可用于 KrF、ArF 鐳射曝光，在 ArF 準分子激光器中使用的氬/氟/氖氣體中，氪氣同樣用于光刻制程，氙氣用于半導體刻蝕制程。

根據中研普華研究院《2022-2027年中國工業氣體行業市場調查分析與發展趨勢預測研究報告》顯示：

晶圓制造材料的占比中，以氖氣、氚氣等為代表的“電子特氣”，是僅次于硅片的第二耗材。以氖氣在光刻機中的應用為例，在電離時，含氖的稀有混合氣體會發出一種特定波長和能量的激光，而這些激光，正是讓光刻機去除芯片表面光刻膠涂層，進而在硅片表面繪制出特定電路圖的主要光束。

據介紹，在目前DUV光刻機主要采用的ArF激光器中，氖氣就占到了氣體混合物的96%以上。可以說，如果沒有這種“電子特氣”，目前令整個半導體制造行業有價無市的光刻機，也將失去其獨特的魅力。而且，這還僅僅只是“電子特氣”的應用之一，在涉及硅片制造、氧化、光刻、蝕刻等諸多環節，都有著不同的“電子特氣”身影。

氖氣價格行情及供應份額調查

受國際局勢影響，氖氣價格強勢走高。據ifind數據顯示，截至2月23日，國內市場氖氣價格報1650元/立方米，較年初漲幅達65%，較2021年10月低點已翻了四倍。稀有氣體價格集體大漲。

烏克蘭的氖氣(Ne)的全球供應份額達70%，而氪氣(Kr)和氙氣(Xe)的全球供應份額則分別達到40%和30%。此外，美國超過 90%的半導體級氖氣供應來自烏克蘭(由俄羅斯生產，烏克蘭純化)。

另一方面，氪氣和氙氣年內的漲幅也較為可觀。截至2月23日，氪氣價格年內累計上漲39.24%，氙氣的價格年內漲幅達27.27%。

除了ASML，臺積電、聯電、南亞科均透露，已增加關鍵氣體備貨量，同時提高供應商多樣性，短期可避開地緣事件影響。其中，聯電已與氖氣供應商泰實科技簽訂長約，提前鎖定產能、鎖定價格——公司也是首家提前以下手保證關鍵氣體供應的晶圓代工廠。

工業氣體龍頭上市公司市場份額

對于特種氣體的公司來說，電子所用的特種氣體的平均毛利率能達到近50%，像是法國液化空氣的毛利率最高能達到60%+，而一般化工氣體或大宗氣體的毛利率也就是20-30%的水平。對比半導體產業鏈來看，晶圓廠的盈利能力最強，尤其是以臺積電為首，毛利率高達53%， 半導體設備的毛利率也才僅有40%左右。

該行業主要的市場份額被海外龍頭壟斷，前五大廠商占據90%以上的市場份額，包括法國液化空氣、德國林德集團、日本大陽日酸。這些海外巨頭都是以工業氣體起家，通過多次海外并購以及專利研發后，逐漸切入盈利能力更高的電子特氣業務。

目前國內的市場格局較為分散，以小有規模的一些公司來看，廠商對于半導體沉積、刻蝕、摻雜等加工的環節著力點也不相同。還是因為氣體的種類太廣泛，且純度工藝要求非常高，國內廠商的專利研發時間較海外龍頭相比還十分短暫，因此能夠涉及的品種和市場體量相對較小。

過往經驗表明，2015年克里米亞危機之際，氖氣價格曾飆升10倍以上，達到每立方公尺3500美元的高價。此次俄烏沖突比當年激烈程度更有過之，而且半導體需求規模較7年前大為增加，由此半導體市場受到的沖擊也更為明顯，導致本已“缺芯”的全球半導體供應愈發雪上加霜皆屬市場的合理推測。

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  本研究咨詢報告由中研普華咨詢公司領銜撰寫，在大量周密的市場調研基礎上，主要依據了國家統計局、國家商務部、國家發改委、國家經濟信息中心、國務院發展研究中心、國家海關總署、全國商業信息...

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