真空泵行業市場現狀分析 真空泵行業發展策略研究

• 吳澳燕 2023年2月20日 來源：互聯網 265 9
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真空泵是真空獲得設備中的主要種類，用于獲得、改善和(或)維持真空環境。真空泵可以定義為：利用機械、物理、化學的方法對被抽容器進行抽氣而獲得真空的器件或設備。真空技術主要是建立低于大氣壓力的物理環境，以及在此中進行工藝制作、物理測量和科學試驗等所需的技

真空泵是真空獲得設備中的主要種類，用于獲得、改善和(或)維持真空環境。真空泵可以定義為：利用機械、物理、化學的方法對被抽容器進行抽氣而獲得真空的器件或設備。真空技術主要是建立低于大氣壓力的物理環境，以及在此中進行工藝制作、物理測量和科學試驗等所需的技術獲得的真空度可以分為四檔。

按照工作原理的不同，真空泵分為氣體傳輸泵和氣體捕集泵兩大類。

氣體傳輸泵可以被進一步分為變容真空泵和動量真空泵兩類。變容真空泵是利用泵腔容積的周期變化來完成吸氣和排氣的裝置，氣體在排出前被壓縮。可分為往復式和旋轉式兩種。動量真空泵是通過高速旋轉的葉片或射流，把動量傳輸給氣體或者氣體分子，使氣體連續不斷的從入口傳輸到出口的真空泵。

氣體捕集泵是使氣體分子被吸附或冷凝而保留在泵內表面上的一種真空泵，主要包括吸附泵、吸氣劑泵、升華(蒸發)泵、吸氣劑離子泵、低溫泵等類型。

根據中研普華產業研究院發布的《2023-2028年國內真空泵行業發展趨勢及發展策略研究》顯示：

2022年全球干式真空泵收入大約2128.9百萬美元，預計2029年達到2595.4百萬美元，2023至2029期間，年復合增長率CAGR為 2.9%。

全球干式真空泵主要廠商有Atlas Copco、Ebara、Pfeiffer Vacuum、Flowserve、Agilent等，全球前五大廠商共占有大約70%的市場份額。歐洲是全球最大的干式真空泵市場，占有大約40%的市場份額，之后是北美和日本市場，二者共占有大約20%的份額。

真空泵行業市場現狀分析

從真空泵產業鏈來看，上游是關鍵零部件主要包括導管、保溫罩和加熱器;下游真空泵被廣泛應用于制藥、化工、食品、電子等行業。

從全球真空泵應用領域來看，2019年半導體領域是規模最大的下游市場，占比37%，規模約17.3億歐元。2020年以來真空泵行業結構轉型趨勢明顯，干式螺桿真空泵的出現替代了大部分油螺桿真空泵，在制藥、醫療器械、半導體行業均有應用。

目前真空泵已經廣泛應用在半導體制造的多個工藝環節中， 包括刻蝕、 鍍膜、 擴散等等。為了將制造過程控制在更小的尺寸上，越來越需要以更高的精度和均勻性執行更多的半導體制造過程步驟。為了實現這一點，半導體工藝必須在極度受控的真空環境中運行。隨著功能和電路尺寸的減小，半導體制造中的工藝步驟數量將繼續增加，從而導致真空設備需求的增加。此外，小型化還需要新的制造技術，如多模和EUV光刻技術，這將進一步推動半導體制造商采用真空系統。

真空泵行業發展策略研究

真空泵是用來產生、改善和維持真空環境的裝置，是國民經濟各行業應用真空工藝過程中必不可少的設備。近幾年，伴隨我國經濟持續高速發展，真空泵下游應用行業保持快速增長勢頭，真空泵應用領域不斷拓展，該領域市場空間廣闊。

截至目前，發達國家的半導體相關產業已全部使用干式真空泵，我國近年來也呈現明顯的干式真空泵替代油泵的趨勢，國內的高端半導體行業已基本使用干式真空泵。

除半導體產業以外，制藥、化工、食品行業對真空泵的需求較大，以往使用油封式機械泵會產生油污染。近年來國家對環境保護高度重視，由于干式真空泵能夠顯著減少油污染，且使用干式真空泵可實現溶媒回收提高利用率，因此制藥、化工、食品等行業對干式真空泵產生了大量新增以及替代原有存量油封式機械泵的需求。

由于各種電子技術都基于半導體材料來實現，幾乎所有電子產品如 PC、消費電子、通信設備等的核心單元均與半導體有著極為密切的關聯，因此半導體是電子產品的組成核心，承擔了信息的載體和傳輸功能，是整個信息產業的發展基石。

集成電路產業已成為國民經濟中基礎性、關鍵性和戰略性的產業。近年來，國家在產業、財稅、金融等方面出臺多項政策支持集成電路產業發展，包括《新時期促進集成電路產業和軟件產業高質量發展的若干政策》、《進一步鼓勵軟件產業和集成電路產業發展若干政策》、《關于進一步鼓勵集成電路產業發展企業所得稅政策的通知》、《中國制造 2025》、《集成電路產業研究與開發專項資金管理暫行辦法》、《國民經濟和社會發展第十三個五年(2016-2020)規劃綱要》、《“十三五”國家科技創新規劃》等，為集成電路裝備制造企業的發展創造了良好市場與政策環境的同時，也對產業發展制定了目標與規劃。

我國本土集成電路產業發展雖起步較晚，但近年來發展迅速，行業增速領先全球。數據顯示，2019年中國集成電路產業銷售額達7,562億元，占全球集成電路市場銷售額的32.87%，我國已超過美國、歐洲和日本，成為全球最大的集成電路市場。與此同時，物聯網、大數據、人工智能、5G 通信、智能駕駛等新型基礎設施和新型應用領域將帶來巨大的芯片增量需求，為干式真空泵產品提供廣闊的市場空間。

更多行業詳情請點擊中研普華產業研究院發布的《2023-2028年國內真空泵行業發展趨勢及發展策略研究》。

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