MEMS的全稱是微型電子機械系統(Micro-ElectroMechanicalSystem)，微機電系統是指可批量制作的，將微型機構、微型傳感器、微型執行器以及信號處理和控制電路、直至接口、通信和電源等于一體的微型器件或系統。你可以把它理解為利用傳統的半導體工藝和材料，用微米技術在芯片上制造微型機械，并將其與對應電路集成為一個整體的技術。所以它是以半導體制造技術為基礎發展起來的一種先進的制造技術平臺。
MEMS傳感器是采用微電子和微機械加工技術制造出來的新型傳感器。與傳統的傳感器相比，它具有體積小、重量輕、成本低、功耗低、可靠性高、適于批量化生產、易于集成和實現智能化的特點。同時，在微米量級的特征尺寸使得它可以完成某些傳統機械傳感器所不能實現的功能。
目前，中國MEMS產業尚處于起步階段。目前，具有一定知名度和出貨量的本土MEMS企業仍然屈指可數，逐鹿中國市場的主要競爭者仍以跨國企業為主。如今，我國MEMS傳感器產品在精度和敏感度等性能指標上與國外存在巨大差距，應用范圍也多局限于傳統領域。中高檔傳感器產品絕大部分從國外進口，90%的芯片依賴國外。
2017年我國MEMS傳感器的市場規模達到335億元，已經成長為全球最大的幾個MEMS傳感器市場之一。
無論在全球還是我國，MEMS傳感器的主要應用市場都是在汽車以及消費電子市場，其次在于醫療和工業。
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2020-2025年中國MEMS傳感器行業深度調研及投資前景預測研究報告
中研普華通過對MEMS傳感器行業長期跟蹤監測，分析MEMS傳感器行業需求、供給、經營特性、獲取能力、產業鏈和價值鏈等多方面的內容，整合行業、市場、企業、用戶等多層面數據和信息資源，為客戶提...
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