2022微系統行業發展現狀及前景分析

• 2022年3月21日 WuYaNan來源：互聯網 1246 81
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微系統技術融合了微電子、微機電和微光電技術，通過系統架構和軟件算法，將微傳感器、微控制器、微執行器、微能源及各種接口等構成一體化軟、硬件多功能集成，采用微納制造及微集成工藝實現系統結構的微納尺度化。

2022微系統行業發展現狀及前景分析

近年來，微系統相關技術發展迅速，微系統集成方法與工藝有了新的突破，微電子器件特征尺寸繼續減小，微處理器、微射頻器等性能進一步提升，碳化硅與氮化鎵等第三代半導體材料器件日益成熟并進入應用階段，為微系統技術發展提供了有效支撐。

微傳感器是傳感技術微型化的基礎，是微系統的重要基礎技術。近年來，微傳感器性能不斷提升，可感知對象不斷豐富，在生物醫學及消費電子產品等領域中得到了廣泛應用，對各種傳感裝備的微型化發展起著巨大的推動作用。

根據中研普華研究院報告《2022-2027年微系統產業深度分析及發展現狀趨勢預測報告》顯示:

微系統，又稱微機電系統(MEMS，Micro-Electro-Mechanical System)，微系統技術融合了微電子、微機電和微光電技術，通過系統架構和軟件算法，將微傳感器、微控制器、微執行器、微能源及各種接口等構成一體化軟、硬件多功能集成，采用微納制造及微集成工藝實現系統結構的微納尺度化。它被公認為21世紀的革命性技術之一。

微系統具有高集成度、微小型化、低功耗、高可靠性、高效率等優點。微系統技術上的新材料、新方法、新工藝等技術變革必將對軍民兩用的系統研發和制造帶來顛覆性影響。

微系統技術融合了微電子、微機電和微光電技術，通過系統架構和軟件算法，將微傳感器、微控制器、微執行器、微能源及各種接口等構成一體化軟、硬件多功能集成，采用微納制造及微集成工藝實現系統結構的微納尺度化。它被公認為21世紀的革命性技術之一。

在微系統技術微系統技術的發展歷史上，集成電路(IC)是技術的起點。電子器件小型化和多功能信成是微加工技術的推動力。如果沒有微加工和小型化技術的迅猛發展，許多今天看來理所當然的科學和工程成就都不可能實現。

微系統技術的發展主要集中在MMIC、MCM、MEMS、SOC、SIP等技術上，其中又以MEMS為主。微系統產品憑其優質的性能，廣泛應用于智慧醫療、航空、消費電子、智慧物流等領域，微系統行業的技術水平發展較好，產品附加值較高，凈利率較高。2020年，微系統產品的凈利率約為9.85%，在大多數行業中處于中上水平。

可擴展的高端 MEMS 器件加工平臺，解決了系列高端 MEMS 器件加工的難題，完成了 MEMS 繼電器、RF MEMS 開關 ，用于環境感知的 MEMS 智能感知微系統 ，惡劣環境下的 MEMS 高溫無線傳感微系統 ，MEMS 掃描鏡及目標探測微系統，微型 MEMS 儲能器件及能源微系統等。其中超高過載自供電 MEMS 傳感器及集成微系統在國內首次通過實測驗證，填補國內空白，相關技術被國內多家重點單位應用并產業化。

想了解行業未來將如何發展?請關注中研普華研究院報告《2022-2027年微系統產業深度分析及發展現狀趨勢預測報告》。

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