光刻機(jī)行業(yè)現(xiàn)狀分析 光刻機(jī)國產(chǎn)化步伐加速

• 2022年8月17日 ZhouJiaLiang來源：互聯(lián)網(wǎng) 270 10
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光刻機(jī)的生產(chǎn)制造極為復(fù)雜，從產(chǎn)業(yè)鏈來看，上游產(chǎn)業(yè)鏈主要包括測量臺(tái)與曝光臺(tái)(雙工件臺(tái))、激光器、光速矯正器、能量控制器、光速形狀設(shè)置、遮光器、能量探測器、掩膜版、掩膜臺(tái)、物鏡、內(nèi)部封閉框架和減震器等組件。

光刻機(jī)行業(yè)現(xiàn)狀分析

光刻技術(shù)是指在特定波長的光照作用下，借助光刻膠將掩膜版上的圖形轉(zhuǎn)移到基片上的技術(shù)，其中光刻機(jī)是整個(gè)光刻工藝乃至整個(gè)半導(dǎo)體制造工藝中最核心的設(shè)備。

光刻機(jī)的生產(chǎn)制造極為復(fù)雜，從產(chǎn)業(yè)鏈來看，上游產(chǎn)業(yè)鏈主要包括測量臺(tái)與曝光臺(tái)(雙工件臺(tái))、激光器、光速矯正器、能量控制器、光速形狀設(shè)置、遮光器、能量探測器、掩膜版、掩膜臺(tái)、物鏡、內(nèi)部封閉框架和減震器等組件。上游最為核心設(shè)備分別為光學(xué)鏡頭、光學(xué)光源和雙工件臺(tái)。光刻機(jī)行業(yè)的下游主要是圓晶代工企業(yè)，下游主要決定了光刻機(jī)市場的需求。

目前，全球光刻機(jī)市場的集中度極高，前三大廠商的市場份額占比達(dá)90%以上。數(shù)據(jù)顯示，2015-2020年，全球光刻機(jī)銷售量總體增長，2020年達(dá)413臺(tái)，同比增長16.7%。

光刻機(jī)隨著光刻技術(shù)的更迭，已從最初的g-line，i-line歷經(jīng)KrF、ArF發(fā)展到了如今的EUV。2020年，全球光刻機(jī)銷量仍以中低端產(chǎn)品(KrF、i-Line)為主，合計(jì)達(dá)264臺(tái)，占比約65%;而在高端光刻機(jī)-EUV的銷量為31臺(tái)，占比約19%。

EUV高端光刻機(jī)制造技術(shù)高度復(fù)雜，光學(xué)鏡頭、光源設(shè)備、是最為核心的。高精密光學(xué)鏡片是光刻機(jī)核心部件之一，高數(shù)值孔徑的鏡頭決定光刻機(jī)分辨率以及值誤差能力，EUV極紫外光刻機(jī)唯一可使用的鏡頭由卡爾蔡司生產(chǎn);高性能光刻機(jī)需要體積小、功率高和穩(wěn)定的光源，主流EUV光源為激光等離子光源(LPP)，目前只有美國廠商Cymer和日本廠商Gigaphoton才能夠生產(chǎn)。但是這些所有的核心部件皆對中國禁運(yùn)。受制于該技術(shù)的高壁壘，光刻機(jī)成為中國半導(dǎo)體設(shè)備制造的最大短板。短時(shí)間內(nèi)，中國光刻機(jī)難以追趕世界光刻機(jī)水平。

據(jù)中研產(chǎn)業(yè)研究院報(bào)告《2022-2027年光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)深度調(diào)研及未來發(fā)展現(xiàn)狀趨勢預(yù)測報(bào)告》分析

就整體規(guī)模變動(dòng)而言，2021年前三大阿斯麥、尼康、佳能分別總營收達(dá)1076億元，同比2020年增長8.9%，其中阿斯麥占比超8成。主要增長動(dòng)力來源于EUV出貨帶動(dòng)，隨著下游集成電路需求持續(xù)復(fù)雜和精細(xì)，工藝制程愈加接近極限，高端光刻機(jī)需求將持續(xù)擴(kuò)張，帶動(dòng)整體光刻機(jī)營收上升。數(shù)據(jù)顯示，2021年阿斯麥營收來源中中國超百億元，與國內(nèi)晶圓產(chǎn)能擴(kuò)張符合。

ASML壟斷全球光刻機(jī)市場。光刻機(jī)市場集中度高，ASML、Nikon、Canon市場占有率超過90%，其中ASML由于其技術(shù)領(lǐng)先，壟斷了EUV光刻機(jī)。就三大企業(yè)整體市場份額占比而言，獨(dú)占79.4%的市場份額，Nikon與Canon分別占據(jù)10.4%和10.2%的市場份額，佳能相較2020年上升主要原因是line光刻機(jī)出貨量增長較大，而尼康近兩年光刻機(jī)銷量持續(xù)下降。

光刻機(jī)國產(chǎn)化步伐加速

從政策層面來看，半導(dǎo)體行業(yè)對資金的需求本來就大，加之光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)不是一場可以速戰(zhàn)速?zèng)Q的戰(zhàn)爭，政府應(yīng)該保證相關(guān)支持政策及資金的持久性與連貫性。除了國家資金外，社會(huì)資本對整個(gè)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)動(dòng)向的洞悉會(huì)更深入。利用國家大基金等資本的帶動(dòng)作用，引導(dǎo)社會(huì)資本深入半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)，布局先進(jìn)技術(shù)，更能推動(dòng)光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)的整體進(jìn)步。

從產(chǎn)業(yè)來看，國內(nèi)光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)應(yīng)該促進(jìn)整個(gè)產(chǎn)業(yè)鏈的協(xié)調(diào)發(fā)展，相關(guān)生產(chǎn)企業(yè)應(yīng)形成良好的產(chǎn)業(yè)分工，從零部件到整機(jī)，企業(yè)做自己擅長的事情，建立更為緊密的合作關(guān)系，加快光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)國產(chǎn)替代進(jìn)程。

想要了解更多光刻機(jī)行業(yè)的發(fā)展前景，請查閱《2022-2027年光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)深度調(diào)研及未來發(fā)展現(xiàn)狀趨勢預(yù)測報(bào)告》。

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  隨著光刻機(jī)行業(yè)競爭的不斷加劇，大型企業(yè)間并購整合與資本運(yùn)作日趨頻繁，國內(nèi)外優(yōu)秀的光刻機(jī)企業(yè)愈來愈重視對行業(yè)市場的分析研究，特別是對當(dāng)前市場環(huán)境和客戶需求趨勢變化的深入研究，以期提前...

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