半導體設備國產化率發展調研 電子芯片行業未來發展前景

• 黃江 2023年7月3日 來源：新浪 1440 95
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中電子行業重點提升電子整機裝備用SoC/MCU/GPU等高端通用芯片、氮化鎵/碳化硅等寬禁帶半導體功率器件、精密光學元器件、光通信器件等電子元器件的可靠性水平。

半導體設備和材料是中國半導體行業國產化的關鍵一環,美國、日本進一步收緊出口限制,中國半導體當前面臨國內需求遠大于國內供應鏈產能的供需錯配現象。2022年中國計算、手機、汽車、通信等系統廠商半導體消費額超過1068億美元，約占全球半導體消費額的25%，而中國代工收入僅為全球10%

半導體設備國產化率發展調研

6月30日，工信部等五部門印發《制造業可靠性提升實施意見》。聚焦機械、電子、汽車等行業，實施基礎產品可靠性“筑基”工程，筑牢核心基礎零部件、核心基礎元器件、關鍵基礎軟件、關鍵基礎材料及先進基礎工藝的可靠性水平。實施整機裝備與系統可靠性“倍增”工程，促進可靠性增長。

其中電子行業重點提升電子整機裝備用SoC/MCU/GPU等高端通用芯片、氮化鎵/碳化硅等寬禁帶半導體功率器件、精密光學元器件、光通信器件等電子元器件的可靠性水平。

五部門聯合發布《制造業可靠性提升實施意見》，將對中國當前電子芯片行業未來發展產生重要影響。該《意見》中明確了半導體電子芯片領域的重點提升方向，包括高端通用芯片、寬禁帶半導體功率器件、精密光學元器件、光通信器件、新型敏感元件及傳感器、高適應性傳感器模組、北斗芯片與器件、片式阻容感元件、高速連接器、高端射頻器件、高端機電元器件和LED芯片等電子元器件的可靠性水平。這將促使中國半導體企業在這些領域加大研發投入，提升自主創新能力。

半導體相關產品納入出口管制

6月30日，荷蘭宣布將部分光刻機等半導體相關產品納入出口管制。商務部回應：中方注意到相關報道。近幾個月以來，中荷雙方就半導體出口管制問題開展了多層級、多頻次的溝通磋商。但荷方最終仍將相關半導體設備列管，中方對此表示不滿。

近年來，美國為維護自身全球霸權，不斷泛化國家安全概念，濫用出口管制措施，甚至不惜犧牲盟友利益，脅迫拉攏其他國家對中國實施半導體打壓圍堵，人為推動產業脫鉤斷鏈，嚴重損害全球半導體產業發展，中方對此堅決反對。荷方應從維護國際經貿規則及中荷經貿合作大局出發，尊重市場原則和契約精神，避免有關措施阻礙兩國半導體行業正常合作和發展，不濫用出口管制措施，切實維護中荷企業和雙方共同利益，維護全球半導體產業鏈供應鏈穩定。

同期，美國也在醞釀對向中國出口人工智能(AI)芯片實施新的限制，預計最快將會在7月要求停止向中國客戶運送英偉達(NVIDIA)和其他美國芯片公司生產的AI芯片，其中將包括限制NVIDIA H800的對華出口。

去年以來，美日荷先后對半導體出口進行管制。在此背景下，國內廠商也在加快推進芯片產業鏈國產化進程，芯片設備及零部件國產替代方興未艾。即便在全球半導體產業下行周期中，中國半導體產業投資仍然保持了正增長。

目前，以國內頭部企業為代表的半導體行業，正持續加大投入力度，國產化進展加速，未來三年國產化仍然是行業最強主線之一。而在國產替代大潮加速推動下，資本市場芯片領域也獲得了資金凈流入。當前國內規模最大的芯片類指數基金——芯片ETF(159995)在今年上半年，累計獲得資金凈申購近34億份，目前份額總數達到238億份，資金規模達到247.57億元。

根據中研普華研究院《2023-2028年國內半導體行業發展趨勢及發展策略研究報告》顯示：

盡管半導體景氣度從2022年下半年顯著回落，半導體設備是少數逆勢高速增長的細分行業。作為A股半導體設備龍頭，北方華創(002371)高管在5月31日舉辦的2022年度業績說明會上表示公司目前在手訂單充足，并預測受國產替代需求拉動，今年國內半導體設備行業仍有望持續增長。

2022年，北方華創實現營業收入147億元，同比增長約五成，凈利潤約24億元，同比增長1.18倍;今年一季度公司實現凈利潤近6億元，同比增長1.86倍。

“目前公司在手訂單充足，2023年1-5月新增訂單相較去年同期增長超過30%，其中以集成電路設備訂單為主。”北方華創高管表示。

北方華創在半導體設備領域業務覆蓋刻蝕裝備、薄膜裝備、立式爐裝備、外延裝備、清洗裝備、臥式爐管設備等，去年電子工藝裝備部分業務實現營業收入同比增長約五成。

在刻蝕設備領域，北方華創高管介紹，面向12吋邏輯、存儲、功率、先進封裝等客戶，已完成數百道工藝的量產驗證，其中，ICP刻蝕產品出貨累計超過2000腔，8英寸CCP刻蝕設備已批量供應市場，12英寸CCP刻蝕設備已進入客戶端驗證。另外，公司用于存儲器件的高深寬比刻蝕機已完成研發，進入工藝測試階段，各項技術指標已基本滿足客戶要求。

對于刻蝕設備優勢，北方華創介紹，公司自2001年開始研發ICP刻蝕設備，2005年第一臺設備進入大生產線量產，目前已有超過2000腔產品在數十家客戶端實現量產應用，在數百道制程上成為客戶的基線設備。

在碳化硅設備領域，北方華創可為6/8英寸碳化硅產線提供晶體生長爐、外延爐、刻蝕機、 PECVD、 PVD、高溫氧化爐、高溫退火爐、清洗機等設備，目前公司碳化硅設備在手訂單充足，多種設備國內市場占有率處于領先位置

5月23日，日本宣布把尖端半導體制造設備等23個品類列入出口管理限制對象名單，半導體設備以及零部件領域國產化進展備受關注。

北方華創高管介紹，公司與國內外主流零部件供應商有著長期友好的合作關系，隨著近年來國內零部件供應商能力的快速提升，國內采購比例也逐年提升。

目前北方華創可為28nm制程產線提供刻蝕、薄膜、清洗、爐管、外延等多種成熟設備，其刻蝕、薄膜沉積、爐管及清洗設備均批量供應市場，工藝覆蓋度和市占率持續提升;未來公司將圍繞半導體基礎產品領域持續加大研發投入，不斷提升以客戶需求為導向的創新能力。

根據SEMI(國際半導體產業協會)數據，2022年中國晶圓廠商半導體設備國產化率較2021年明顯提升，從21%提升至35%;國內半導體設備公在去膠、清洗、熱處理、刻蝕及CMP領域內國產替代率較高，均高于30%，但在光刻機、離子注入機等領域國產化率合計不足5%。

對于是否涉及半導體光刻機研發，北方華創高管表示公司沒有研發光刻機設備的計劃。

半導體行業自2022年下半年進入下行周期，半導體制造商紛紛宣布削減2023年資本開支;對于國產半導體設備增長趨勢，北方華創高管表示看好，預計受國產替代需求拉動，今年國內半導體設備行業仍有望持續增長。

《2023-2028年國內半導體行業發展趨勢及發展策略研究報告》由中研普華研究院撰寫，本報告對該行業的供需狀況、發展現狀、行業發展變化等進行了分析，重點分析了行業的發展現狀、如何面對行業的發展挑戰、行業的發展建議、行業競爭力，以及行業的投資分析和趨勢預測等等。報告還綜合了行業的整體發展動態，對行業在產品方面提供了參考建議和具體解決辦法。

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