電子束曝光指使用電子束在表面上制造圖樣的工藝，是光刻技術的延伸應用。電子束曝光系統即用于實現電子束曝光的系統。電子束曝光指使用電子束在表面上制造圖樣的工藝，是光刻技術的延伸應用。
電子束曝光指使用電子束在表面上制造圖樣的工藝，是光刻技術的延伸應用。電子束曝光系統即用于實現電子束曝光的系統。電子束曝光指使用電子束在表面上制造圖樣的工藝，是光刻技術的延伸應用。
光刻技術的精度受到光子在波長尺度上的散射影響。使用的光波長越短，光刻能夠達到的精度越高。根據德布羅意的物質波理論，電子是一種波長極短的波。這樣，電子束曝光的精度可以達到納米量級，從而為制作納米線提供了很有用的工具。電子束曝光需要的時間長是它的一個主要缺點。為了解決這個問題，納米壓印術應運而生。
電子束曝光分辨率高、掩膜版制作容易、工藝容限大，而且生產效率高，但由于電子束在光刻膠膜內的散射，使得圖案的曝光劑量會受到臨近圖案曝光劑量的影響(即臨近效應)，造成的結果是，顯影后，線寬有所變化或圖形畸變。雖然如此，限角度投影式電子束光刻仍是最具前景的非光學光刻。
隨著器件的特征尺寸不斷縮小，在掩模版制造中普遍采用電子束曝光和激光光刻設備，在這兩類設備中，電子束設備在性能和數量上均占優勢。最先進的激光制版系統，其束斑直徑在0.2μm左右，可以用來制作0.18μm，0.15μm生產線的掩模版，但對特征尺寸更小的器件的掩模，只能用電子束曝光系統來制作，特別是用于光學光刻中的銘版制造。
據不完全統計，截至2021年底，全球電子束曝光系統產能約為3564臺，產量約為3411臺，產能利用率約為95.71%。
據中研產業研究院報告《2022年全球與中國電子束曝光系統(EBL)市場深度研究分析報告》分析
近年來，中國電子束曝光系統的產量和產值都呈現出較快的增長態勢。據統計，2021年，中國電子束曝光系統的產量約為864臺，同比增長12.06%;產值約為6.82億美元，同比增長18.40%。
圖表：2018-2021年中國電子束曝光系統產量及產值情況
數據來源：中研普華產業研究院
據統計，2021年美國電子束曝光系統的產量約為268臺，較2020年增長了5.10%;產值約為2.29億美元，較2020年增長了6.02%。
圖表：2018-2021年美國電子束曝光系統產量和產值情況
數據來源：中研普華產業研究院
據統計，2021年歐洲電子束曝光系統的產量約為1364臺，較2020年增長了6.98%;產值約為14.14億美元，較2020年增長了12.67%。
圖表：2018-2021年歐洲電子束曝光系統產量及產值情況
數據來源：中研普華產業研究院
據統計，2021年日本電子束曝光系統的產量約為791臺，較2020年增長了2.06%;產值約為6.87億美元，較2020年增長了3.0%。
圖表：2018-2021年日本電子束曝光系統產量及產值情況
數據來源：中研普華產業研究院
想要了解更多電子束曝光系統行業的發展前景，請查閱《2022年全球與中國電子束曝光系統(EBL)市場深度研究分析報告》。
關注公眾號
免費獲取更多報告節選
免費咨詢行業專家
2022年全球與中國電子束曝光系統（EBL）市場深度研究分析報告
電子束曝光指使用電子束在表面上制造圖樣的工藝，是光刻技術的延伸應用。電子束曝光系統即用于實現電子束曝光的系統。電子束曝光指使用電子束在表面上制造圖樣的工藝，是光刻技術的延伸應用。光...
查看詳情
我國是酒類生產消費大國，白酒消費量全球第一。不過，國內消費者酒喝了不少，但喝到肚里的酒是怎么造出來的，酒里都含...
2022脂肪測量儀行業發展趨勢及市場現狀分析脂肪測量儀行業發展趨勢及市場現狀如何?脂肪測量儀是利用生物電阻抗的方法7...
多地發“億級”消費券目前，《深圳市關于促進消費持續恢復的若干措施》。該政策提出，對消費者購買符合條件的手機、電...
中消協公開課提醒618理性消費國家郵政局監測數據顯示，今年“618”活動期間(6月1日至6月20日)，全行業攬收快件超65....
美容院是為人們提供美容護理、皮膚保健、水療等內容的美容服務場所。從90年代興起，經歷了指導型美容院、養護型美容院...
我國痔瘡發病人群或達5億今天(5月29日)是世界腸道健康日#。專家介紹，痔瘡是肛腸疾病中發病率最高的疾病，占發病總...
中國電子束曝光系統產量 電子束曝光系統發展前景分析 
研究院服務號
中研網訂閱號