2023中國電子特氣行業發展趨勢分析報告

• 黃文玉 2023年3月14日 來源：互聯網 793 48
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電子特種氣體(簡稱電子特氣)，是指用于半導體、平板顯示及其它電子產品生產的特種氣體。

一、電子特氣的概念

電子特種氣體(簡稱電子特氣)，是指用于半導體、平板顯示及其它電子產品生產的特種氣體。在整個半導體行業的生產過程中，從芯片生長到最后器件的封裝，幾乎每一個環節都離不開電子特氣，而且所用氣體的品種多、質量要求高，所以電子氣體又有半導體材料的“糧食”之稱。

電子特氣廣泛應用于半導體、微電子和相關的太陽能電池等高科技產業，或用于薄膜沉積、刻蝕、摻雜、鈍化、清洗，或用作載氣、保護氣氛等等。由于半導體和微電子技術向更高性能、更高集成度發展，對電子特氣的純度提出了越來越高的要求，電子特氣的的凈化愈加關鍵和重要。

根據中研普華產業研究院發布的《2023-2028年中國電子特氣行業發展趨勢及投資預測報告》顯示：

電子工業是當今推動科技發展的高新技術產業，由于所用氣體的品種多、質量要求高，為有別于其它領域應用的氣體，人們把這類在電子工業中用的氣體統稱為電子特種氣體，它是當今興起的高技術含量、高投入、高附加值的高新技術產業。電子特氣上游多為III(硼、鋁、鎵)、IV(碳、硅、鍺)、V(氮、磷、砷)族元素及鹵族元素(氟、氯)的基礎化工產業，下游在集成電路、面板、LED等領域的各個工藝環節均有多種用途。

電子氣體的應用領域主要在半導體集成電路生產制造、非晶硅太陽能電池、液晶顯示器件、光導纖維生產四大領域，其中主要應用于半導體集成電路的生產制造。在半導體工業中應用的有110 余種單元特種氣體，其中常用的有20～30種。電子特種氣體的發展直接帶動高新技術產業發展。

2021年全球電子特氣市場規模達46億美元，預計未來行業將保持在5%左右的增速，市場規模在2024年達到54億美元。近年來全球電子特氣市場保持平穩增長。

二、電子特氣市場發展現狀

近幾年來，隨著我國超大規模集成電路、平板顯示器、光伏發電等產業的迅速發展，電子氣體市場需求量明顯增長，電子特種氣體的國產化已是大勢所趨。目前我國在國產化方面取得可喜進展：國產高純氨改變了國外氣體公司壟斷市場的格局，高純四氟化碳“有價無貨”時代也宣告結束，高純氯化氫已成功打開國內市場。

2021年，電子特氣在集成電路中的應用占比達43%，其次為顯示面板，占比21%，LED和光伏分別占比13%，6%，主要應用環節包括離子注入、刻蝕、氣相沉積、摻雜等。目前國內電子特氣第一梯隊的廠商已經具備規模生產能力，在細分領域產品具有一定優勢，但和國外龍頭企業相比還有較大差距，國產替代空間巨大。

電子特種氣體的研究開發和生產的專業化，有利于技術的改進和提高，有利于成本的降低，是提高電子元器件質量的重要環節。實現真正意義上的規?；a，增加國內和國際市場份額，為國家進行產業調整結構，建立完整的集成電路、光電子產業鏈，提高國際競爭力，具有重大意義。

國內的超高純度凈化技術主要依賴進口，自身的技術水準(6N)與國際先進水平(8-9N)有較大差距。本項目將設計和研發一系列高效、高容量、高選擇性、低成本的新型納米凈化劑，對MO源、惰性氣體、氫化物氣體、反應性氣體、腐蝕性氣體等5個系列，50多種電子特氣進行末端凈化，使電子特氣純度由ppm級提高到ppb、ppt級，并將特氣傳輸和控制系統對氣體純度的影響降至最小，從而極大地改善工藝能力，降低產品缺陷， 提高制程的產量，滿足下一代半導體、微電子以及相關高技術發展的需要。本項目將形成有自主知識產權的超高純度電子特氣凈化技術，解決超高純度電子特氣凈化這一核心技術的國產化問題。

三、電子特氣行業未來趨勢預測

集成電路是電子特氣主要下游應用，21年占比達43%。半導體產業是我國國民經濟的基礎性和戰略性產業，政策加持下，打造“中國芯”、實現進口替代的緊迫性、重要性不斷加強。中國電子特氣2021年市場規模為167億元，預計2024年我國電子特氣市場規模將達到230億元，2020-2024年復合增速將達11.28%，增速高于全球。

電子特氣得到國家政策大力支持。“十四五”期間，中國工業氣體、集成電路產能分布密集的東部地區基于自身區域產業發展提出相應的電子特氣行業發展規劃，其中如廣東、遼寧等地基于優勢城市、區域產業群加大技術投入，拓展包括電子特氣在內的工業氣體版圖;江蘇、浙江等集成電路產能密集省份則基于區域相關產業發展方向，有針對性地發展相應電子特氣產業，提升集成電路產業化程度。可以預見的是未來國產電子特氣市場未來將有較大增長空間。

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